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設(shè)備特點(diǎn)
GNX300B擁有BG研磨專利技術(shù)。
日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)
主軸機(jī)械精度可調(diào)
岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化
潤滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損
適用晶圓尺寸：6”、8”、12” 最大晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動(dòng)、半自動(dòng)操作模式
17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細(xì)小，沖洗更干凈
設(shè)備規(guī)格
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
規(guī)格 | GNX300B |
最大加工直徑 | Ф300㎜ |
主軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~3000rpm |
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率 | 5.5kW/4kW |
研磨輪尺寸 | Ф300㎜ |
設(shè)備整重 | 5700kg |
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